X射線熒光光譜儀主要是根據(jù)熒光光譜和激發(fā)光譜來判定物質的性質和量，具體如下：使激發(fā)光的波長和強度保持不變，而讓熒光物質所發(fā)生的熒光通過發(fā)射單色器照射于檢測器上，調節(jié)發(fā)射單色器至各種不同波長處，由檢測器測出相應的熒光強度，讓不同波長的激發(fā)光激發(fā)熒光物質使之發(fā)生熒光，而讓熒光以固定的發(fā)射波長照射到檢測器上。

　　X射線熒光光譜儀進行定量分析的依據(jù)是元素的熒光X射線強度與試樣中該元素的含量Wi成正比：Ii=IsWi式中，Is為Wi=1時，該元素的熒光X射線的強度。根據(jù)上式，可以采用標準曲線法，增量法，內標法等進行定量分析。

　　X射線熒光光譜儀在定性分析時，可以靠計算機自動識別譜線，給出定性結果。但是如果元素含量過低或存在元素間的譜線干擾時，仍需人工鑒別。首先識別出X射線管靶材的特征X射線和強峰的伴隨線，然后根據(jù)2θ角標注剩斜譜線。在分析未知譜線時，要同時考慮到樣品的來源，性質等因素，以便綜合判斷。
 

　　X射線熒光光譜儀優(yōu)勢：

　　1、制樣簡單，試樣多數(shù)不需經過化學處理就可分析，且固體、液體試樣均可直接分析。

　　2、分析速度快。雖然測定用時與測定精密度有關，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。

　　3、多元素同時檢出能力。可同時檢測一個樣品中的多種元素，一個樣品一經激發(fā)，樣品中各元素都各自發(fā)射出其特征譜線，可以進行分別檢測而同時測定多種元素。

　　4、敏感度高，選擇性好。熒光分析的靈敏度要比吸收光譜測量高2-3個數(shù)量級。

　　5、非破壞分析。在測定中不會引起化學狀態(tài)的改變，也不會出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象，同一試樣可反復多次測量，結果重現(xiàn)性好。